Nguồn: Viện NCUD Công nghệ, 2001
Mã số: 25979 2015 3.3 MB 123 9,793 0  0  

Phần mở đầu Chương 1: Tổng quan các phương pháp chế tạo màng mỏng quang học Chương 2: Cơ sở lý thuyết của phương pháp tạo màng bằng phún xạ Katod Chương 3: Chế tạo thiết bị phún xạ DC Magneton Chương 4: Một số kết quả nghiên cứu ứng dụng Kết luận Tài liệu tham khảo Phụ lục | Xem..

Nguồn: Trường Đại học Khoa Học Tự Nhiên, 2010
Mã số: 17466 2011 2.6 MB 7,945 0  0  

1. Phương pháp bốc bay chân không (Evaporation) 1.1 Phương pháp bốc bay trực tiếp 1.2 Phương pháp bốc bay gián tiếp 2. Phương pháp phún xạ (Sputtering) 2.1 Phún xạ diode phẳng 2.2 Phún xạ magnetron | Xem..

Nguồn: Website mientayVn.com, 2010
Mã số: 17850 2011 467.8 kB 18 6,064 1  2  

I. Phương pháp phún xạ II. Các loại phún xạ III. Phương pháp phún xạ magnetron RF trong chế tạo màng mỏng | Xem..

Nguồn: Trường Đại học Công nghệ - ĐHQGHN, 2010
Mã số: 10304 2010 2.8 MB 240 28,290 3  1  

Lời nói đầu Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng Chương 2. Động học chất khí Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ Chương 4. Vật lý và kỹ thuật chân không cao Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không Chương 6. Chế tạo màng mỏng bằng kỹ thuật chân không Chương 7. Phương pháp phún xạ Chương 8. Các phương pháp phân tích đặc trưng.. | Xem..

Nguồn: Đại học Bách khoa Hà Nội
Mã số: 5120 2008 3.5 MB 28 18,621 14  3  

Tài liệu giới thiệu công nghệ phún xạ được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực. Các ưu điểm của phương pháp phún xạ: Tốc độ mọc màng cao Diện tích của màng mỏng lớn, với độ đồng đều cao Có tính bám dính tốt giữa các vật liệu màng mỏng và đế nên có thể thay đổi ứng suất trong màng mỏng Có thể tạo màng.. | Xem..